產(chǎn)品特性：

· THA3M系列主動(dòng)減振器采用金屬?gòu)椈勺鳛楸粍?dòng)隔振單元，搭配不同推力的音圈電機(jī)，適用于微動(dòng)平臺(tái)及動(dòng)平臺(tái)。

· 手動(dòng)水平調(diào)節(jié)方式升級(jí)，無(wú)需繁雜拆裝，輕松快捷調(diào)平;采用地面前饋、運(yùn)動(dòng)前饋及反饋控制技術(shù)，進(jìn)行6自由度振動(dòng)主動(dòng)控制，對(duì)地面低頻振動(dòng)，平臺(tái)運(yùn)動(dòng)帶來(lái)的振動(dòng)具有極佳的衰減能力，適用于超精密設(shè)備減振:

· 采用先進(jìn)的智能控制算法，兼顧減振性能和魯棒性?？煽啃愿呖垢蓴_能力強(qiáng)，適用于各類環(huán)境，無(wú)需頻繁調(diào)整即可保持最優(yōu)性能。

· 友好的人機(jī)交互界面，無(wú)需專業(yè)知識(shí)，一鍵啟動(dòng)減振。向用戶開(kāi)放調(diào)試通道，便于追求極致性能的用戶自行調(diào)試。

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)說(shuō)明：

產(chǎn)品用途：

晶圓檢測(cè)設(shè)備、光刻設(shè)備、半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備、高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等